六硼化镧扫描电子显微镜
设备型号：日本电子JSM-6510A
基本参数：
六硼化镧灯丝分辨率灯丝 |
12nm（1KV） |
背散射电子分辨率 |
4.0nm（30KV） |
加速电压 |
0.5kV至30kV |
电子枪 |
工厂预对中灯丝 |
聚光镜 |
变焦聚光镜 |
物镜 |
锥形物镜 |
样品台 |
全对中样品台 |
X-Y |
80mm-40mm |
Z |
5mm至48mm |
旋转 |
360° |
倾斜 |
－10°至＋90° |
排气系统 |
DPx1，RPx1 |
排气系统 |
DPx1，RPx2 |
主要功能：二次电子像，背散射电子像，能谱分析（点、线、面）
样品要求：样品干燥洁净，底面平整
设备管理员：戚玉敏
放置地点：北辰材料楼C114
电话：022-60201962
